超纯水

超纯水（Ultrapure water）又称UP水，是指电阻率达到18 MΩ*cm（25℃）的水。超纯水最初是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精制技术生产出来的水，这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质、有机物等。

超纯水制备主要包括以下三个阶段，即初步吸附过滤阶段、反渗透净化阶段和树脂离子交换阶段。其中，离子交换即是将水中的正离子与离子交换树脂中的H+离子交换，水中的负离子与离子交换树脂中的OH-离子交换，从而达到纯化水的目的。具体说来主要有以下步骤：

1.原水：可用自来水或普通蒸馏水或普通去离子水作原水。

2.预处理系统：原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、换热器、阻垢剂系统。

3.双级反渗透系统：保安过滤器、RO高压泵、反渗透系统。反渗透膜可滤除95%以上的电解质和大分子化合物，包括胶体微粒和病毒等。由于绝大多数离子的去除，使后段离子交换柱的使用寿命大大延长。

4.EDI系统：EDI的作用就是通过除去电解质(包括弱电解质)的过程，将水的电阻率从0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。

5.抛光树脂：无化学析出的核子级树脂，去除纯水中残余的微量带电离子及弱电解质，使水质达到18MΩ·cm以上。

6.终端超滤：能有效地去除水中的微粒、胶体、细菌、热源和有机物。是整套系统最后的防火墙，确保产出的高纯水不受二次污染。