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四双(乙基甲基氨)铪(IV)
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四双(乙基甲基氨)铪(IV)新闻专题
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352535-01-4
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四(甲乙基氨基)铪(IV)的生产方法
四(甲乙氨基)铪(TEMAH)是化学气相沉积(CVD)或原子层沉积工艺生长氮化铪或氧化铪的关键原材料。
2024/6/11 11:12:08
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